Wafer Front-End Module 300mm
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter

Vaste prijs zonder BTW
€ 59.750
Bouwjaar
2010
Toestand
Gebruikt
Locatie
Dresden Duitsland
Wafer Front-End Module 300mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Wafer Front-End Module 300mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Wafer Front-End Module 300mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Wafer Front-End Module 300mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Wafer Front-End Module 300mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Wafer Front-End Module 300mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Wafer Front-End Module 300mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Wafer Front-End Module 300mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Wafer Front-End Module 300mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Wafer Front-End Module 300mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Wafer Front-End Module 300mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Wafer Front-End Module 300mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Wafer Front-End Module 300mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Wafer Front-End Module 300mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Wafer Front-End Module 300mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Wafer Front-End Module 300mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Wafer Front-End Module 300mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
foto's tonen
Toon kaart

Machinegegevens

Machinetype:
Wafer Front-End Module 300mm
Producent:
BROOKS ASYST
Model:
Spartan EFEM Sorter
Bouwjaar:
2010
Toestand:
gebruikt

Prijs & locatie

Vaste prijs zonder BTW
€ 59.750

Locatie:
Heilbronner Str. 22, 01189 Dresden, Deutschland Duitsland
Bellen

Details over het aanbod

Advertentie-ID:
A207-98077
Referentienummer:
LW43278
Laatste aanpassing:
op 19.12.2025

Omschrijving

Brooks Automation Wafer Front-End Module, 300 mm, ASYST Spartan EFEM, Sorter

Model: ASYST Spartan EFEM
Type: Sorter
Conditie: Gebruikt

Itodpox I Ax Sefx Ac Ner
Technische gegevens:
100-240V AC
50/60Hz
10A

Algemeen:
300-mm EFEM met 3 loadports, cleanroom-mini-omgeving en geïntegreerde wafer-transferrobot

Dit apparaat is een Equipment Front End Module (EFEM) uit de ASYST Spartan-serie, ontwikkeld voor de volledig geautomatiseerde handling van 300-mm siliciumwafers in de halfgeleiderproductie.
Het beschikt over drie loadports, een mini-omgeving met ULPA-luchtfilters, interne verlichting, uitgebreide veiligheidsbesturingen en alle benodigde interfaces voor systeemintegratie.
Daarnaast is er een volledig geïntegreerde wafer-transferrobot ingebouwd, die wafers uit de FOUP-/cassette-loadports oppakt, deze splitst en nauwkeurig overdraagt aan volgende procesmodules.

Bouwjaar: 27-12-2010
Incl. cd met bedienings-, service- en installatiehandleidingen (9701-3060-01 Rev G)

De advertentie werd automatisch vertaald. Vertaalfouten zijn mogelijk.

Aanbieder

Geregistreerd sinds: 2014

500 advertenties online

Trustseal Icon

Telefoon & Fax

+49 351 8... weergeven